电子特气是集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产中不可缺少的基础和支撑性材料,被广泛应用于薄膜、掺杂、腔室清洗、光刻、刻蚀、清洗、载气、保护气等工艺。2018年电子特气在半导体前道制造所需材料中占比高达18...
特种气体管道系统工程特种气体管道系统 Special Gas Pipeline System 是指SiH4,NF3,Cl2 等一些具有高危险性,应确保安全性的特气。特种气体是光电子、微电子等领域,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅...
全自动特殊气体安全输送柜主要适用于高校、各研究所、检验检测、研发中心等机构实验所需特殊气体(易燃、易爆、有毒、腐蚀性)的集中供气。适应各种规格钢瓶(如:8L、10L、40L、50L)供气方式,基本功能包括泄漏报警、紧急切断、压力报警、全自动...
现在实验室常会用到各类分析仪器,这些仪器都需要使用载气和燃料气,这些气体的控制系统对于实验人员和价格高昂的实验器材的安全都是至关重要的。它必须确保这些气体的稳定性和安全性。多种分析仪器,如气相色谱仪,原子吸收,气—质联用仪,ICP等等,这些...
液氧站是医用中心供氧系统的重要组成部分之一,医用液氧贮罐与建筑物、构建物的防火间距应符合下列规定:1、医用液氧贮罐与医疗卫生机构外建筑之间的防火间距,应符合《建筑设计防火规范》GB50016表4.3.3的要求:一、二级的耐火等级的建筑物...
工业管道的基本识别色、识别符号和安全标识(GB 7231-2003) 下载全文摘要 国家标准局批准的工业管道的基本...
《氢气站设计规范》GB 50177-2005 下载全文中华人民共...
《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472-2008 下载全文标准类别 ...
压力管道安装许可规则 TSG D30...
《压力容器安装改造维修许可规则》TSGR3001-2006 下载全文第一章...